Máy khí quyển

Loạt máy móc khí quyển xử lý wafer chủ yếu được sử dụng trong quá trình xử lý chất bán dẫn và là thiết bị tự động hóa quan trọng chịu trách nhiệm truyền wafer giữa các trạm khác nhau ở đầu khí quyển. Loạt robot khí quyển này có thể đạt được tốc độ cao và hoạt động trơn tru với trọng lượng nhẹ, cánh tay cứng cao, động cơ AC servo hiệu suất cao và bộ giảm tốc hài hòa. Robot đáp ứng các yêu cầu bôi trơn của bộ phận chuyển động môi trường sạch, đảm bảo hoạt động trơn tru của robot trong thời gian dài và không ảnh hưởng đến môi trường sạch. Sử dụng bộ điều khiển robot loại mạng của công ty Shinzon để điều khiển, nó có cấu trúc nhỏ gọn, cấu hình linh hoạt và hiệu suất điều khiển cao, có thể thích ứng với các cơ thể robot khác nhau, nhận ra giao tiếp giữa bộ điều khiển robot và thiết bị IC, tạo điều kiện cho các hệ thống ứng dụng khác nhau. Hiện nay công ty Tân Tùng đã có hai loại cánh tay đơn và cánh tay bốn mô hình, và có thể tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng, đã có ứng dụng của người dùng, và hình thành các sản phẩm nối tiếp để đáp ứng yêu cầu của người dùng khác nhau.