Hệ thống đo oxy vi mô cấp ppm cho quá trình xử lý nhiệt bán dẫn

Hệ thống đo oxy siêu nhỏ MESA của ĐứcCông nghệ xử lý nhiệt chuyên dụng cho khâu sản xuất chất bán dẫn.

Hệ thống đo oxy siêu nhỏ MESA của ĐứcĐó là một hệ thống chính xác bằng cách bơm khí vào buồng đo đặc biệt và sau đó thực hiện đo oxy vi mô ở nhiệt độ ổn định và được kiểm soát thông qua đầu dò Lambda, tín hiệu tương ứng với hàm lượng oxy ppm có thể được xuất ra.

Dải đo: 0... 5/10/100/10000 ppm

Độ chính xác: ± 1% FS

Ưu điểm: Four point correction

Đầu ra: 0 (4)... 20mA hoặc 0... 10V

Nguồn gốc: Đức (Chứng nhận ISO 9001: 2015)

Công nghiệp áp dụng: Chất bán dẫn

Khách hàng chính: Mattson

Hệ thống đo oxy siêu nhỏ MESA của ĐứcSử dụng thiết kế đầu dò zirconia (đầu dò Lambda), có thể được duy trì ở 600 ℃ đo liên tục, không bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ trong lò, trạng thái làm việc của đầu dò Lambda ổn định, tuổi thọ dài hơn các sản phẩm tương tự khác, tuổi thọ thực tế có thể lên đến 10 năm;

Hệ thống đo oxy siêu nhỏ MESA của ĐứcMỗi đầu dò Lambda đều có hệ số trôi điểm 0 độc đáo K1 và hệ số bù nhiệt độ K2, giúp tín hiệu đo chính xác hơn cho đầu ra điện thông minh.Phạm vi và loại đầu ra là tùy chọn. Kết quả đo cũng có thể được kết nối với máy chủ thông qua các giao diện như RS232/RS485 để đạt được chức năng điều khiển tập trung.